EVG GEMINI

Beschrijving advertentie

product beschrijving

EVG Gemini Geautomatiseerde productie Wafer Bonder met face-to-face uitlijning

Volledig geautomatiseerde bediening
Vergrendelde deuren met signaallichttoren
4-assige industriële robot
EVG CIM Framework Software GUI (grafische gebruikersinterface)
Flexibele processtroomdefinitie
Receptprogrammering slepen en neerzetten
Parallelle verwerking van meerdere taken
Geautomatiseerde registratie van proces- en machineparameters
Doorvoer geoptimaliseerde verwerkingsvolgorde
Met wachtwoord beveiligde toegangsniveaus voor gebruikers
Cassette openen met leeg/aanwezig-sensor
Momenteel geconfigureerd voor 6 "(150 mm) wafers (4" en 8" optioneel met extra hardware)
Aantal 8 bond chucks inbegrepen voor 6 "wafers, extra chucks kunnen worden aangeboden
SmartView®NT-uitlijningsmodule met 5x doelstellingen
4 Bond-modules met maximaal 550 °C en 10kN hechtkracht
Mierenzuur Bubbler-optie voor het spoelen van mierenzuurdamp in de bindkamer
1 spoelgasleiding voor procesgas
CE-gecertificeerd, alle systeemdocumentatie

This equipment is located in IE