Sistema di rilevamento difetti Hologenix NGS 3500

Descrizione dell'annuncio

Rilevamento e classificazione automatici dei difetti
Ispezione automatizzata degli stampi
Metrologia dimensionale di precisione
Dimensione critica (CD) e metrologia sovrapposta
Funzionamento automatico e manuale
Rilevamento di difetti di superficie e bordi
Rilevamento difetti di struttura (ad esempio macchie, ecc.)
Rilevamento di oggetti mancanti o deformati
Ampia capacità di revisione dei difetti
Mappe grafiche e archivio di immagini
Importazione di file CAD
I sistemi metrologici e di rilevamento dei difetti della serie NGS sono progettati per applicazioni in cui sono richiesti il ​​rilevamento automatico dei difetti ottici e misurazioni dimensionali di precisione su wafer e altre parti. Sono particolarmente adatti per il duplice utilizzo come strumenti di produzione o come versatili sistemi di sviluppo dei processi. Questi sistemi offrono una scelta di componenti per microscopi di fascia alta (Olympus/Nikon/Leica), illuminazione BF/DF/DIC e stadiazione con motore lineare con scale da 0,02 micron. Sono disponibili diverse configurazioni a seconda delle vostre esigenze. Questi includono: una piattaforma da 200 mm, una piattaforma da 300 mm e una piattaforma robotizzata per la movimentazione automatizzata di wafer e parti.

Metrologia dimensionale avanzata a livello di wafer e sistema di rilevamento dei difetti
tavolino motorizzato con corsa XY 8"x8".
messa a fuoco motorizzata
ispezione in campo chiaro e in campo scuro
Tipico 5-100 difetti/misurazioni al secondo
Velocità di stadiazione 200mm/s
coassiale e retroilluminazione (luce trasmessa) controllati da software con doppi alimentatori in fibra ottica da 150 W
capacità di carico massima del palco 50 libbre
base in granito e colonna a Z
Gli stadi lineari a circuito chiuso e l'asse Z con feedback di posizione e i sistemi di codifica intelligenti Micro-e Mercury 3500 forniscono una risoluzione migliore di 1um
Software: Sistemi di visione RMS con grafica a colori, archiviazione immagini e revisione offline dei difetti
Microscopio Nikon con rotazione dell'obiettivo motorizzata, testa di visione trinoculare ultrawide inclinabile con oculari 10x
CCTV Hitachi, Windows XP

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