Sistema de detección de defectos Hologenix NGS 3500

Descripción del anuncio

Detección y clasificación automática de defectos
Inspección automatizada de troqueles
Metrología dimensional de precisión
Dimensión crítica (CD) y metrología superpuesta
Operación automática y manual
Detección de defectos de superficie y bordes
Detección de defectos de textura (por ejemplo, manchas, etc.)
Detección de objetos faltantes o deformados
Amplia capacidad de revisión de defectos
Mapas gráficos y archivo de imágenes
Importación de archivos CAD
Los sistemas de metrología y detección de defectos de la serie NGS están diseñados para aplicaciones donde se requiere detección óptica automatizada de defectos y mediciones dimensionales de precisión en obleas y otras piezas. Son muy adecuados para uso dual como herramientas de producción o como sistemas de desarrollo de procesos versátiles. Estos sistemas ofrecen una selección de componentes de microscopio de alta gama (Olympus/Nikon/Leica), iluminación BF/ DF/ DIC y puesta en escena de motor lineal con escalas de 0,02 micrones. Hay varias configuraciones disponibles según sus requisitos. Estos incluyen: una plataforma de 200 mm, una plataforma de 300 mm y una plataforma robótica para la manipulación automatizada de obleas y piezas.

Sistema avanzado de detección de defectos y metrología dimensional a nivel de oblea
escenario motorizado con recorrido XY de 8"x8"
enfoque motorizado
inspección de campo claro y campo oscuro
5-100 defectos/mediciones por segundo típico
Velocidad de preparación de 200 mm/s
Coaxial y retroiluminación controlados por software (luz transmitida) con fuentes de alimentación duales de fibra óptica de 150 W.
Capacidad máxima de carga del escenario: 50 libras.
base de granito y columna Z
Las etapas lineales de circuito cerrado y el eje Z con retroalimentación de posición y los sistemas de codificador inteligente Micro-e Mercury 3500 brindan una resolución mejor que 1 um.
Software: RMS Vision Systems con gráficos en color, archivo de imágenes y revisión de defectos fuera de línea
Microscopio Nikon con rotación de objetivo motorizada, cabezal de visualización trinocular ultraancho inclinable con oculares de 10x
CCTV Hitachi, Windows XP

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