Sistema de detecção de defeitos Hologenix NGS 3500

Descrição do anúncio

Detecção e classificação automática de defeitos
Inspeção automatizada de matrizes
Metrologia Dimensional de Precisão
Dimensão Crítica (CD) e Metrologia de Sobreposição
Operação Automática e Manual
Detecção de defeitos de superfície e borda
Detecção de defeitos de textura (por exemplo, manchas, etc.)
Detecção de objetos ausentes ou deformados
Ampla capacidade de revisão de defeitos
Mapas gráficos e arquivo de imagens
Importação de arquivo CAD
Os sistemas de detecção de defeitos e metrologia da série NGS são projetados para aplicações onde são necessárias detecção automatizada de defeitos ópticos e medições dimensionais precisas em wafers e outras peças. Eles são adequados para uso duplo como ferramentas de produção ou como sistemas versáteis de desenvolvimento de processos. Esses sistemas oferecem uma escolha de componentes de microscópio de alta qualidade (Olympus/Nikon/Leica), iluminação BF/DF/DIC e estágio de motor linear com escalas de 0,02 mícron. Existem diversas configurações disponíveis dependendo de suas necessidades. Estes incluem: uma plataforma de 200 mm, uma plataforma de 300 mm e uma plataforma robótica para wafer automatizado e manuseio de peças.

Metrologia dimensional avançada em nível de wafer e sistema de detecção de defeitos
estágio motorizado com curso XY de 8"x8"
foco motorizado
inspeção de campo claro e campo escuro
5-100 defeitos/medições por segundo típico
Velocidade de preparação de 200 mm/s
coaxial controlado por software e luz de fundo (luz transmitida) com fontes de alimentação duplas de fibra óptica de 150 W
capacidade máxima de carga do palco 50 libras
base em granito e coluna Z
estágios lineares de circuito fechado e eixo Z com feedback de posição e sistemas de codificador inteligente Micro-e Mercury 3500 fornecem resolução melhor que 1um
Software: Sistemas RMS Vision com gráficos coloridos, arquivamento de imagens e revisão offline de defeitos
Microscópio Nikon com rotação objetiva motorizada, cabeça de visualização trinocular ultralarga inclinável e oculares de 10x
CCTV Hitachi, Windows XP

This equipment is located in US