Hologenix NGS 3500 Defectdetectiesysteem

Beschrijving advertentie

Automatische defectdetectie en -classificatie
Geautomatiseerde matrijsinspectie
Precisiedimensionale metrologie
Kritieke dimensie (CD) en overlay-metrologie
Automatische en handmatige bediening
Detectie van oppervlakte- en randdefecten
Detectie van textuurdefecten (bijv. vlekken, enz.)
Detectie van ontbrekende of vervormde objecten
Uitgebreide mogelijkheid om defecten te beoordelen
Grafische kaarten en beeldarchief
CAD-bestand importeren
De defectdetectie- en metrologiesystemen uit de NGS-serie zijn ontworpen voor toepassingen waarbij geautomatiseerde optische defectdetectie en nauwkeurige maatmetingen op wafers en andere onderdelen vereist zijn. Ze zijn zeer geschikt voor dubbel gebruik als productietools of als veelzijdige procesontwikkelingssystemen. Deze systemen bieden een keuze uit hoogwaardige microscoopcomponenten (Olympus/Nikon/Leica), BF/DF/DIC-verlichting en lineaire motorstaging met schalen van 0,02 micron. Er zijn verschillende configuraties beschikbaar, afhankelijk van uw vereisten. Deze omvatten: een platform van 200 mm, een platform van 300 mm en een robotplatform voor geautomatiseerde verwerking van wafers en onderdelen.

Geavanceerd dimensionale metrologie en defectdetectiesysteem op wafelniveau
gemotoriseerd podium met 8"x8" XY-verplaatsing
gemotoriseerde focus
helderveld- en donkerveldinspectie
Typisch 5-100 defecten/metingen per seconde
Stabiliteitssnelheid van 200 mm/s
softwaregestuurde coaxiaal en achtergrondverlichting (doorgelaten licht) met dubbele 150W glasvezelvoedingen
maximale podiumbelasting 50 lbs
granieten basis en Z-kolom
lineaire trappen met gesloten lus en Z-as met positiefeedback en Micro-e Mercury 3500 slimme encodersystemen bieden een resolutie die beter is dan 1um
Software: RMS Vision-systemen met kleurenafbeeldingen, beeldarchivering en offline beoordeling van defecten
Nikon-microscoop met gemotoriseerde objectiefrotatie, kantelbare ultrabrede trinoculaire kijkkop met 10x oculairs
Hitachi CCTV, Windows XP

This equipment is located in US