Hologenix NGS 3500

Description de l'offre

Détection et classification automatiques des défauts
Inspection automatisée des matrices
Métrologie dimensionnelle de précision
Dimension Critique (CD) et métrologie superposée
Fonctionnement automatique et manuel
Détection des défauts de surface et de bord
Détection des défauts de texture (par exemple taches, etc.)
Détection d'objets manquants ou déformés
Capacité étendue d’examen des défauts
Cartes graphiques et archivage d'images
Importation de fichiers CAO
Les systèmes de détection de défauts et de métrologie de la série NGS sont conçus pour les applications où une détection optique automatisée des défauts et des mesures dimensionnelles de précision sur les plaquettes et autres pièces sont nécessaires. Ils conviennent parfaitement à une double utilisation en tant qu'outils de production ou en tant que systèmes de développement de processus polyvalents. Ces systèmes offrent un choix de composants de microscope haut de gamme (Olympus/Nikon/Leica), un éclairage BF/DF/DIC et un étagement de moteur linéaire avec des échelles de 0,02 microns. Plusieurs configurations sont disponibles en fonction de vos besoins. Ceux-ci comprennent : une plate-forme de 200 mm, une plate-forme de 300 mm et une plate-forme robotisée pour la manipulation automatisée des plaquettes et des pièces.

Système avancé de métrologie dimensionnelle et de détection de défauts au niveau des tranches
scène motorisée avec déplacement XY de 8"x8"
mise au point motorisée
inspection en fond clair et en fond noir
5 à 100 défauts/mesures par seconde typique
Vitesse d'étage de 200 mm/s
Coaxial et rétroéclairage contrôlés par logiciel (lumière transmise) avec deux alimentations à fibre optique de 150 W
capacité de charge maximale sur scène 50 lb
base en granit et colonne Z
Les platines linéaires en boucle fermée et l'axe Z avec retour de position et les systèmes d'encodeur intelligent Micro-e Mercury 3500 offrent une résolution supérieure à 1 µm.
Logiciel : systèmes de vision RMS avec graphiques couleur, archivage d'images et examen hors ligne des défauts
Microscope Nikon avec rotation d'objectif motorisée, tête de visualisation trinoculaire ultra-large inclinable avec oculaires 10x
Vidéosurveillance Hitachi, Windows XP

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