ASM Eagle XP5 PEALD

Περιγραφή καταχώρησης

Μέγεθος γκοφρέτας 300 mm
Σύστημα διεργασίας PE-ALD
Έκδοση λογισμικού Λογισμικό Eagle I ASMJ (ενσωματωμένα Windows XP / OS)
Δείτε το αρχείο διαμόρφωσης παρακάτω για λήψη μαζί με άλλα έγγραφα.
Πλήρες σετ σχηματικών διαθέσιμων κατόπιν αιτήματος.
Διεργασία PE-ALD Oxide, HT-SiO/HT-SiN
Διαμόρφωση υλικού (fab):
Κύριο σύστημα ASM PE-ALD System Mainframe 1
Σύστημα χειρισμού FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Εργοστασιακή διεπαφή FOUP 2
Σύστημα επιλογών
Θάλαμος διαδικασίας άλλων (RC3 / RC4) 2
Διαμόρφωση υλικού (subfab/βοηθητικές μονάδες):
Power Rack 1
Κατάσταση εργαλείου: Αποεγκατεστημένο και σε κιβώτιο και σε αποθήκευση. (Μάρτιος 2023)

Το ASM Eagle είναι σαν καινούργιο. Δεν χρησιμοποιήθηκε ποτέ στην παραγωγή και χρησιμοποιήθηκε μόνο για τη δοκιμή γκοφρετών. Ο ένας θάλαμος είχε πρόβλημα βαλβίδας γκαζιού και πρόβλημα RF Gen. Το RF Gen αντικαταστάθηκε αλλά δεν αντικατέστησαν τη βαλβίδα γκαζιού, επομένως χρησιμοποιήθηκε μόνο ένας θάλαμος για τη δοκιμή των γκοφρετών. Ο πίνακας υγραερίου δεν χρησιμοποιήθηκε. Περιλαμβάνονται 2 ανταλλακτικά MFC.

Αυτό το προηγμένο μηχάνημα χρησιμοποιεί τεχνολογία εναπόθεσης ατομικής στρώσης ενισχυμένης με πλάσμα (PEALD) για τη δημιουργία εξαιρετικά λεπτών, ομοιόμορφων επικαλύψεων σε μια ποικιλία υλικών υποστρώματος. Είναι ικανό να παράγει επιστρώσεις με εξαιρετική ομοιομορφία και αναπαραγωγιμότητα, καθιστώντας το ιδανικό για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Το ASM Eagle XP5 είναι ένα ευέλικτο εργαλείο που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εναπόθεση ενός ευρέος φάσματος υλικών, συμπεριλαμβανομένων μετάλλων, οξειδίων και άλλων ενώσεων. Είναι επίσης ικανό να λειτουργεί σε μια σειρά από πιέσεις και θερμοκρασίες διεργασίας, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε ποικίλα περιβάλλοντα παραγωγής.
Εκτός από τις εντυπωσιακές του δυνατότητες επίστρωσης, το ASM Eagle XP5 είναι επίσης κατασκευασμένο με γνώμονα την ανθεκτικότητα και την ευκολία συντήρησης. Έχει στιβαρό σχεδιασμό και υποστηρίζεται από τη φήμη της ASM για την παραγωγή υψηλής ποιότητας, αξιόπιστου εξοπλισμού.

This equipment is located in IE