ASM Eagle XP5 PEALD

Beschrijving advertentie

Wafelgrootte 300 mm
Proces PE-ALD-systeem
Softwareversie Eagle I ASMJ-software (Windows embedded XP / OS)
Zie het onderstaande configuratiebestand om samen met andere documenten te downloaden.
Volledige set schema's op aanvraag verkrijgbaar.
Proces PE-ALD-oxide, HT-SiO/HT-SiN
Hardwareconfiguratie (fab):
Hoofdsysteem ASM PE-ALD-systeemmainframe 1
Handlersysteem FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Fabrieksinterface FOUP 2
Opties Systeem
Overige Proceskamer (RC3 / RC4) 2
Hardwareconfiguratie (subfabricage/hulpeenheden):
Vermogensrek 1
Gereedschapsstatus: gedeïnstalleerd, in krat en in opslag. (maart 2023)

De ASM Eagle is als nieuw. Het werd nooit gebruikt bij de productie en alleen gebruikt om wafers te testen. Eén kamer had een probleem met de gasklep en een probleem met de RF Gen. De RF Gen werd vervangen, maar de gasklep werd niet vervangen, dus werd slechts één kamer gebruikt om de wafers te testen. Het vloeibaar-gaspaneel werd niet gebruikt. Er worden 2 reserve-MFC's meegeleverd.

Deze geavanceerde machine maakt gebruik van plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD)-technologie om ultradunne, uniforme coatings op een verscheidenheid aan substraatmaterialen te creëren. Het is in staat coatings te produceren met een uitzonderlijke uniformiteit en reproduceerbaarheid, waardoor het ideaal is voor een breed scala aan toepassingen in de halfgeleiderindustrie.
De ASM Eagle XP5 is een veelzijdig hulpmiddel dat kan worden gebruikt voor het deponeren van een breed scala aan materialen, waaronder metalen, oxiden en andere verbindingen. Hij kan ook werken bij een reeks procesdrukken en temperaturen, waardoor hij geschikt is voor gebruik in een verscheidenheid aan productieomgevingen.
Naast de indrukwekkende coatingmogelijkheden is de ASM Eagle XP5 ook gebouwd met duurzaamheid en onderhoudsgemak in gedachten. Het heeft een robuust ontwerp en wordt ondersteund door de reputatie van ASM voor het produceren van hoogwaardige, betrouwbare apparatuur.

This equipment is located in IE