ASM Eagle XP5 PEALD

Descrição do anúncio

Tamanho da bolacha 300 mm
Processo Sistema PE-ALD
Versão do software Software Eagle I ASMJ (Windows XP/OS integrado)
Veja o arquivo de configuração abaixo para download junto com outros documentos.
Conjunto completo de esquemas disponíveis mediante solicitação.
Processo Óxido PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Configuração de hardware (fabuloso):
Sistema Principal Sistema ASM PE-ALD Mainframe 1
Sistema de Manipulador FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interface de Fábrica FOUP 2
Sistema de opções
Câmara de Processos Outros (RC3 / RC4) 2
Configuração de Hardware (subfab/unidades auxiliares):
Rack de energia 1
Status da ferramenta: Desinstalada, embalada e armazenada. (março de 2023)

O ASM Eagle está como novo. Nunca foi usado em produção e apenas para testar wafers. Uma câmara apresentava um problema de válvula borboleta e um problema de geração de RF. O RF Gen foi substituído, mas eles não substituíram a válvula borboleta, então apenas uma câmara foi usada para testar os wafers. O painel de gás líquido não foi utilizado. Existem 2 MFCs sobressalentes incluídos.

Esta máquina avançada utiliza tecnologia de deposição de camada atômica aprimorada por plasma (PEALD) para criar revestimentos ultrafinos e uniformes em uma variedade de materiais de substrato. É capaz de produzir revestimentos com uniformidade e reprodutibilidade excepcionais, tornando-o ideal para uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores.
O ASM Eagle XP5 é uma ferramenta versátil que pode ser usada para depositar uma ampla variedade de materiais, incluindo metais, óxidos e outros compostos. Ele também é capaz de operar em diversas pressões e temperaturas de processo, tornando-o adequado para uso em diversos ambientes de fabricação.
Além de suas impressionantes capacidades de revestimento, o ASM Eagle XP5 também foi construído pensando na durabilidade e na facilidade de manutenção. Possui um design robusto e é respaldado pela reputação da ASM de produzir equipamentos confiáveis ​​e de alta qualidade.

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