Canon APT-5800

Περιγραφή καταχώρησης

Διαθέσιμα σετ Canon APT-5800 Ατμόσφαιρα πίεσης CVD (BPSG) x4

Πίεση Ατμόσφαιρας Διεργασίας CVD (BPSG)

Μέγεθος γκοφρέτας 200mm

Εγκοπή σχήματος γκοφρέτας

Γκοφρέτα;Κασέτα 8; Πλαστικό Miraial

Διασύνδεση SMIF ΑΡΙΘ

<1> Περίβλημα

1. Πόρτα

2.Παράθυρο φόρτωσης

3.Καθαρή μονάδα
Spec. Φίλτρο ULPA (0,1?m)
<2> Χειρισμός γκοφρέτας

1. Στάδιο κασέτας Stage# Κασέτα x2, Dummy cassette x1

Μέγεθος γκοφρέτας
Συνδυασμός 5-8 ιντσών
2. Σταθμός ψύξης

3. Λειτουργία ρομπότ χειρισμού γκοφρέτας Προσρόφηση πίσω επιφάνειας

Επίπεδη ευθυγράμμιση προσανατολισμού

Μοντέλο GENMARK GENCOBOT ;
4. Οδηγός γκοφρέτας ανελκυστήρα μεγέθους 8 ιντσών
5. Πίνακας ευρετηρίου
Υλικό υποδοχέα: SiC

Δαχτυλίδι οδηγός Υλικό: Τεταρτ

Υλικό θερμικής ασπίδας: SUS

Υποστήριξη υποδοχέα
Υλικό: SUS

Τραπέζι περιστροφής

<3> Παροχή αερίου διεργασίας

1. Κουτί AFC MFC Aera FC-782/781

Φίλτρο Pall GLF6101/GLFPF8101

Ρυθμιστής Tescom 44-3200

Αεροκίνητη βαλβίδα Fujikin MEGA-ONE
2. Μονάδα φυσαλίδων

3. Σωλήνας θερμότητας

<4> Άλλη προμήθεια

1. Παροχή αέρα Aux N2, Vac. Gen N2

2. Νερό που μαζεύει

<5> Αντίδραση διαδικασίας

1. Κεφαλή διασποράς (D/H)

2. Θερμαντήρας αντιδραστήρα

<6> Εξάτμιση

1. Αποσβεστήρας εξάτμισης περιβλήματος

2. Αποσβεστήρας εξάτμισης αντιδραστήρα

3. Μονάδα σωλήνα εξάτμισης αντιδραστήρα

4. Μονάδα μανόμετρου Γενική εξάτμιση

Εξάτμιση διαδικασίας

5. Σύστημα δεξαμενής αποστράγγισης Χωρητικότητα δεξαμενής 10 λίτρων
6. Σύστημα καταλύτη Μέθοδος μηχανής επεξεργασίας όζοντος
7. Μέθοδος περιστροφικής βούρτσας Βούρτσισμα + Κενό
<7> Υποσύστημα

1. Μοντέλο οζονιστήρα
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
2. Σύστημα παροχής υγρών πηγών Spec. TEOS, TMOP, TEB
3. Μονάδα ψύκτη
Μοντέλο NESLAB CFT-25
<8> Έλεγχος & Ηλεκτρικός εξοπλισμός

1. Διεπαφή χρήστη Υπολογιστής, Οθόνη, Πληκτρολόγιο

2. Ελεγκτής συστήματος Ελεγκτής VME

Ελεγκτής ρομπότ

Ελεγκτής περιστροφής

ΕΛΕΓΚΤΗΣ ΘΕΡΜΟΚΡΑΣΙΑΣ

3. Συντήρηση Η/Υ Συμβατό με IBM

4. Ηλεκτρικός εξοπλισμός

<9> Ασφάλεια

1. Μονάδα ανίχνευσης αερίου
Μοντέλο Shincosmos Electric V880
2. UPS Μοντέλο CLARY UPS1-1.25k-1G
3. Interlock

4. ΕΜΟ
x4

This equipment is located in IE