Canon APT-5800

Descripción del anuncio

Canon APT-5800 Presión atmosférica CVD (BPSG) x4 Juegos disponibles

Presión atmosférica de proceso CVD (BPSG)

Tamaño de oblea 200MM

Muesca en forma de oblea

¿Oblea?Cassette 8? Plástico Miraial

Interfaz SMIF NO

<1> Recinto

1. Puerta

2. Ventana de carga

3. Unidad limpia
Especificaciones. Filtro ULPA (0,1?m)
<2> Manejo de obleas

1. Etapa de casete Etapa # Casete x2, casete ficticio x1

Tamaño de oblea
combinación de 5-8 pulgadas
2. Estación de refrigeración

3. Función del robot de manipulación de obleas Adsorción de la superficie posterior

Alineación del plano de orientación

Modelo GENMARK GENCOBOT ?
4. Tamaño de la guía de la oblea del elevador 8 pulgadas
5. Tabla de índice
Susceptor Material: SiC

Material del anillo guía: cuartos de galón

Material del escudo térmico: SUS

Soporte de susceptor
Material: SUS

Mesa de rotación

<3> Suministro de gas de proceso

1. Caja AFC MFC Aera FC-782/781

Filtro Pall GLF6101/GLFPF8101

Regulador Tescom 44-3200

Válvula neumática Fujikin MEGA-ONE
2. Unidad de burbujeo

3. Tubo de calor

<4> Otro suministro

1. Suministro de aire Aux N2, Vac. Generación N2

2. Agua fría

<5> Reacción del proceso

1. Cabezal de dispersión (D/H)

2. Calentador de reactores

<6> Escape

1. Amortiguador de escape del recinto

2. Amortiguador de escape del reactor

3. Unidad del tubo de escape del reactor

4. Unidad de manómetro Escape general

Proceso de escape

5. Sistema de tanque de drenaje Capacidad del tanque 10 litros
6. Máquina de tratamiento de ozono Método Sistema de catalizador
7. Cepillo rotatorio Método Cepillado + Vacío
<7> Subsistema

1. Modelo de ozonizador
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
2. Sistema de suministro de fuente líquida Espec. TEOS, TMOP, TEB
3. Unidad enfriadora
Modelo NESLAB CFT-25
<8> Equipos eléctricos y de control

1. Interfaz de usuario Computadora, Pantalla, Teclado

2. Controlador del sistema Controlador VME

Controlador de robots

Controlador de rotación

Controlador de temperatura

3. PC de mantenimiento compatible con IBM

4. Equipo eléctrico

<9> Seguridad

1. Unidad de detección de gas
Modelo Shincosmos Eléctrico V880
2. UPS modelo CLARY UPS1-1.25k-1G
3. Interbloqueo

4. emo
x4

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