Canon APT-5800

Descrição do anúncio

Canon APT-5800 CVD de pressão atmosférica (BPSG) x4 conjuntos disponíveis

Pressão Atmosférica de Processo CVD (BPSG)

Tamanho da bolacha 200MM

Entalhe em forma de bolacha

Wafer? Cassete 8? Miraial de Plástico

Interface SMIF NÃO

<1> Invólucro

1. Porta

2. Carregar janela

3.Limpar unidade
Especificação Filtro ULPA (0,1?m)
<2> Manuseio de bolachas

1. Palco de cassetes Palco# Cassete x2, Cassete fictício x1

Tamanho da bolacha
combinação de 5-8 polegadas
2. Estação de resfriamento

3. Robô de manipulação de bolachas Função Adsorção de superfície traseira

Alinhamento da orientação plana

Modelo GENMARK GENCOBOT ?
4. Guia do Elevador Wafer tamanho 8 polegadas
5. Tabela de índice
Material do Susceptor: SiC

Material do anel de guia: Quarts

Material do escudo térmico: SUS

Suporte ao susceptor
Material: SUS

Mesa de rotação

<3> Fornecimento de gás de processo

1. Caixa AFC MFC Aera FC-782/781

Filtro Pall GLF6101/GLFPF8101

Regulador Tescom 44-3200

Válvula pneumática Fujikin MEGA-ONE
2. Unidade de borbulhamento

3. Tubo de aquecimento

<4> Outros suprimentos

1. Suprimento de ar Aux N2, Vac. Geração N2

2. Recolha de água

<5> Reação do processo

1. Cabeça de dispersão (D/H)

2. Aquecedor do reator

<6> Exaustão

1. Amortecedor de exaustão do gabinete

2. Amortecedor de exaustão do reator

3. Unidade de tubo de exaustão do reator

4. Unidade de manômetro Exaustão geral

Exaustão do processo

5. Sistema do tanque de drenagem Capacidade do tanque 10 litros
6. Sistema de catalisador de método de máquina de tratamento de ozônio
7. Método de escova rotativa Escova + Vácuo
<7> Subsistema

1. Modelo Ozonizador
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
2. Especificações do sistema de fornecimento de fonte líquida. TEOS, TMOP, TEB
3. Unidade de resfriamento
Modelo NESLAB CFT-25
<8> Equipamentos elétricos e de controle

1. Interface do usuário Computador, Tela, Teclado

2. Controlador VME do controlador do sistema

Controlador de robô

Controlador de rotação

Controlador de temperatura

3. PC de manutenção compatível com IBM

4. Equipamento elétrico

<9> Segurança

1. Unidade de detecção de gás
Modelo Shincosmos Electric V880
2. UPS Modelo CLARY UPS1-1.25k-1G
3. Bloqueio

4. EMO
x4

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