Canon APT-5800

Description de l'offre

Canon APT-5800 Pression atmosphérique CVD (BPSG) x4 jeux disponibles

Processus pression atmosphérique CVD (BPSG)

 Taille de tranche 200MM

 Encoche en forme de plaquette

 Wafer? Cassette 8? Miraial en plastique

 Interface SMIF NON

 <1> Boîtier

1. Porte

 2. fenêtre de chargement

 3. unité propre
Spec. Filtre ULPA (0,1? M)
 <2> Manipulation des plaquettes

1. Étape de la cassette Étape # Cassette x2, cassette factice x1

 Taille de tranche
5-8 pouces combinaison
 2. Station de refroidissement

 3. Robot de la poignée de la plaquette Fonction Adsorption sur la surface arrière

 Alignement de l'orientation à plat

 Modèle GENMARK GENCOBOT?
 4. Taille de guide de tranche d'ascenseur 8 pouces
 5. Table d'index
Matériau du capteur: SiC

 Anneau de guidage Matériel: Quarts

 Bouclier thermique Matériau: SUS

 Assistance aux suspects
Matériel: SUS

 Table de rotation

 <3> Alimentation en gaz de process

1. Boîtier AFC MFC Aera FC-782/781

 Filtre Pall GLF6101 / GLFPF8101

 Régulateur Tescom 44-3200

 Valve pneumatique Fujikin MEGA-ONE
 2. Unité de bouillonnement

 3. Caloduc

 <4> Autre fourniture

1. Alimentation en air Aux N2, Vac. Gen N2

 2. Colling eau

 <5> Réaction du processus

1. Tête de dispersion (D / H)

 2. Réchauffeur de réacteur

 <6> Échappement

1. Registre d'échappement du boîtier

 2. Registre d'échappement du réacteur

 3. Unité de tuyau d'échappement du réacteur

 4. Unité du manomètre Échappement général

 Échappement de processus

 5. Système de réservoir de vidange Capacité du réservoir 10 litres
 6. Système de catalyseur de méthode de machine de traitement de l'ozone
 7. Méthode de brosse rotative Brossez + vide
 <7> Sous-système

1. Modèle d'ozoniseur
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
 2. Système d'alimentation de source liquide Spec. TEOS, TMOP, TEB
 3. Unité de refroidissement
Modèle NESLAB CFT-25
 <8> Contrôle et équipement électrique

1. Interface utilisateur Ordinateur, écran, clavier

 2. Contrôleur système Contrôleur VME

 Contrôleur de robot

 Contrôleur de rotation

 Contrôleur de température

 3. PC de maintenance compatible IBM

 4. Matériel électrique

 <9> Sécurité

1. Unité de détection de gaz
Modèle Shincosmos Electric V880
 2. Modèle d'onduleur CLARY UPS1-1.25k-1G
 3. Verrouillage

 4. EMO
 x4

This equipment is located in IE