Canon APT-5800

Beschrijving advertentie

Canon APT-5800 Atmosfeerdruk CVD (BPSG) x4 Sets beschikbaar

Proces Atmosfeerdruk CVD (BPSG)

Wafeltje Maat 200MM

Inkeping in wafelvorm

Wafer? Cassette 8? Kunststof Miraial

SMIF-interface NEE

<1> Behuizing

1. Deur

2. Laadvenster

3.Reinig apparaat
Specificatie ULPA-filter (0,1 m)
<2> Behandeling van wafels

1. Cassette podium Stage# Cassette x2, Dummy cassette x1

Wafelgrootte:
5-8 inch combinatie
2. Koelstation

3. Waferhandring-robot Functie Adsorptie op het achteroppervlak

Uitlijning van oriëntatie plat

Model GENMARK GENCOBOT ?
4. Liftwafelgeleider maat 8 inch
5. Indextabel
Susceptormateriaal: SiC

Geleidering Materiaal: Quarts

Hitteschild Materiaal: SUS

Susceptor ondersteuning
Materiaal: SUS

Rotatie tafel

<3> Procesgastoevoer

1. AFC-doos MFC Aera FC-782/781

Filter Pall GLF6101/GLFPF8101

Regelaar Tescom 44-3200

Luchtbediende klep Fujikin MEGA-ONE
2. Bruisende eenheid

3. Warmtepijp

<4> Ander aanbod

1. Luchttoevoer Aux N2, Vac. Gen N2

2. Afkoelend water

<5> Procesreactie

1. Dispersiekop (D/H)

2. Reactorverwarmer

<6> Uitlaat

1. Behuizing uitlaatdemper

2. Reactor uitlaatdemper

3. Reactor uitlaatpijp unit

4. Manometereenheid Algemene uitlaat

Proces uitlaat

5. Aftaptanksysteem Tankinhoud 10 liter
6. Ozonbehandelingsmachine Methode Katalysatorsysteem:
7. Roterende borstel Methode Oppoetsen + Stofzuigen
<7> Subsysteem

1. Ozonisatormodel
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
2. Vloeibaar brontoevoersysteem Spec. TEOS, TMOP, TEB
3. Koeleenheid
Model NESLAB CFT-25
<8> Controle en elektrische apparatuur

1. Gebruikersinterface Computer, Display, Toetsenbord

2. Systeemcontroller VME-controller

Robotcontroller

Rotatie controller

Temperatuurregelaar

3. Onderhouds-pc IBM-compatibel

4. Elektrische apparatuur

<9> Veiligheid

1. Gasdetectie-eenheid
Model Shincosmos Electric V880
2. UPS-model CLARY UPS1-1.25k-1G
3. Vergrendeling

4. EMO
x4

This equipment is located in IE