Canon APT-5800

Descrizione dell'annuncio

Canon APT-5800 Pressione atmosferica CVD (BPSG) x4 set disponibili

Processo Pressione atmosferica CVD (BPSG)

Dimensione cialda 200 MM

Tacca a forma di wafer

Cialda? Cassetta 8? Miraiale di plastica

N. interfaccia SMIF

<1> Custodia

1. Porta

2.Carica finestra

3.Pulire l'unità
Spec. Filtro ULPA (0,1?m)
<2> Gestione dei wafer

1. Cassetta Stage# Cassetta x2, cassetta fittizia x1

Dimensione del wafer
Combinazione da 5-8 pollici
2. Stazione di raffreddamento

3. Robot per la manipolazione dei wafer Funzione Adsorbimento della superficie posteriore

Allineamento dell'orientamento piatto

Modello GENMARK GENCOBOT ?
4. Dimensioni della guida del wafer dell'elevatore 8 pollici
5. Tabella indice
Materiale del suscettore: SiC

Materiale dell'anello guida: quarti

Materiale scudo termico: SUS

Supporto dei suscettori
Materiale: SUS

Tavola di rotazione

<3> Alimentazione del gas di processo

1. Scatola AFC MFC Aera FC-782/781

Palla filtrante GLF6101/GLFPF8101

Regolatore Tecom 44-3200

Valvola pneumatica Fujikin MEGA-ONE
2. Unità di gorgogliamento

3. Tubo di calore

<4> Altra fornitura

1. Alimentazione aria Aux N2, Vac. Gen N2

2. Acqua di raffreddamento

<5> Reazione di processo

1. Testa di dispersione (D/H)

2. Riscaldatore del reattore

<6> Scarico

1. Serranda di scarico dell'involucro

2. Serranda di scarico del reattore

3. Gruppo tubo di scarico del reattore

4. Gruppo manometro Scarico generale

Scarico di processo

5. Sistema del serbatoio di scarico Capacità del serbatoio 10 litri
6. Macchina per il trattamento dell'ozono Metodo Sistema catalizzatore
7. Metodo della spazzola rotante Spazzolare + aspirare
<7> Sottosistema

1. Modello ozonizzatore
Sumitomo Seimitsu SGN-04CUA
2. Sistema di alimentazione della fonte di liquido Spec. TEOS, TMOP, TEB
3. Unità di refrigerazione
Modello NESLAB CFT-25
<8> Controllo e apparecchiature elettriche

1. Interfaccia utente Computer, Display, Tastiera

2. Controller di sistema Controller VME

Controllore robot

Controllore di rotazione

Regolatore di temperatura

3. PC di manutenzione compatibile con IBM

4. Apparecchiature elettriche

<9> Sicurezza

1. Unità di rilevamento gas
Modello Shincosmos elettrico V880
2. Modello UPS CLARY UPS1-1.25k-1G
3. Interblocco

4. EMO
x4

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