Επιστημονική Κοινοπολιτεία ETCH ΤΜΗΜΑ.

Περιγραφή καταχώρησης

Commonwealth Scientific Sputter System με επεξεργαστή Intlvac 2015. Το σύστημα άντλησης αποτελείται από μια αντλία αδροποίησης (Leybold Trivac D40B) (IMG 7550 και IMG 7548) και μια κρυογονική αντλία (Oxford Instruments Cryoplex 8) (IMG 7547 και 7546). Ο συμπιεστής (για την κρυοπαντλία) έχει εξαιρετική πίεση ηλίου (IMG 7545).

Μέγεθος θαλάμου: Εσωτερικές διαστάσεις χωρίς ασπίδες επίστρωσης = 18” (Β) x 18” (Π) x 24” (Υ)
Μέγεθος βάσης υποστρώματος: 8,00” Διάμετρος πλανήτης
Ψύξη με νερό: Ναι
Τύπος και μέγεθος πηγής δέσμης ιόντων: Commonwealth Scientific 6" RF (Primary) Commonwealth Scientific 4" RF (Secondary)
Τρέχον μέγεθος και τύποι στόχων: 6" Quartz 6" Target Tantalum

This equipment is located in CA