Commonwealth Scientific ETCH DEP.

Descrizione dell'annuncio

Commonwealth Scientific Sputter System con processore Intlvac 2015. Il sistema di pompaggio è composto da una pompa per vuoto (Leybold Trivac D40B) (IMG 7550 e IMG 7548) e una pompa criogenica (Oxford Instruments Cryoplex 8) (IMG 7547 e 7546). Il compressore (per la criopompa) ha un'eccellente pressione dell'elio (IMG 7545).

Dimensioni della camera: dimensioni interne senza scudi di rivestimento = 18 "(P) x 18" (W) x 24" (H)
Dimensioni supporto supporto: pianeta diametro 8,00 pollici
Raffreddato ad acqua: Sì
Tipo e dimensione della sorgente del fascio ionico: Commonwealth Scientific 6” RF (primario) Commonwealth Scientific 4” RF (secondario)
Dimensioni e tipi attuali dei bersagli: 6” Quartz 6” Tantalum Target

This equipment is located in CA