DEPARTAMENTO DE GRABADO DE Commonwealth Scientific

Descripción del anuncio

Sistema de Sputter de Commonwealth Scientific con procesador Intlvac 2015. El sistema de bombeo está compuesto por una bomba de desbaste (Leybold Trivac D40B) (IMG 7550 e IMG 7548) y una bomba criogénica (Oxford Instruments Cryoplex 8) (IMG 7547 y 7546). El compresor (para la criobomba) tiene una excelente presión de helio (IMG 7545).

Tamaño de la cámara: Dimensiones interiores sin escudos de revestimiento = 18" (D) x 18" (W) x 24" (H)
Tamaño del soporte de sustrato: planetario de 8,00” de diámetro
Refrigerado por agua: Sí
Fuente de haz de iones Tipo y tamaño: Commonwealth Scientific 6” RF (primario) Commonwealth Scientific 4” RF (secundario)
Tipos y tamaños de blancos actuales: Blanco de cuarzo de 6” Blanco de tantalio de 6”

This equipment is located in CA