Commonwealth Wetenschappelijk ETCH DEP.

Beschrijving advertentie

Commonwealth Scientific sputtersysteem met 2015 Intlvac-processor. Het pompsysteem bestaat uit een voorbewerkingspomp (Leybold Trivac D40B) (IMG 7550 en IMG 7548) en een cryogene pomp (Oxford Instruments Cryoplex 8) (IMG 7547 en 7546). De compressor (voor de cryopomp) heeft een uitstekende heliumdruk (IMG 7545).

Kamergrootte: Binnenafmetingen zonder coatingschilden = 18” (D) x 18” (B) x 24” (H)
Grootte substraathouder: 8.00 "Diameter Planet
Watergekoeld: Ja
Type en grootte van de ionenstraalbron: Commonwealth Scientific 6” RF (primair) Commonwealth Scientific 4” RF (secundair)
Huidige doelen grootte en types: 6” Quartz 6” Tantalum Target

This equipment is located in CA