Suss PM-5 Prober

Περιγραφή καταχώρησης

Μέγεθος γκοφρέτας/υποστρώματος: έως 6”/150 διάμετρος

X,Y, Theta Stage
Επιπεδότητα πάνω από 6": <10 µm
Ανάλυση: 5 μm
Εύρος κίνησης: 155 x 155 mm
Διαδρομή φορτίου άξονας Y: 90 mm
Ζ εύρος ρύθμισης ύψους: 10 mm
Ζ διαδρομή επαφής/διαχωρισμού: 3 mm
Ταξίδι Θήτα (στάνταρ): 360°
Ταξίδι Θήτα, πρόστιμο (προαιρετικό): ±10°

Χαϊδεύω
Επιπεδότητα: 3 μm
Κατακόρυφη ακαμψία 6": <15 μm/10 N

ProbeHead Platen
Τύπος στερέωσης: Κενό, μαγνητικό, HF
Εύρος διαδρομής: 40 mm
Διαδρομή επαφής/διαχωρισμού: 0,2 mm
Επαναληψιμότητα: 1 μm

Βοηθητικά προγράμματα
Κενό: -0,8 bar
Πεπιεσμένος αέρας: 4 bar

Διαστάσεις & Βάρος
Πλάτος x Βάθος x Ύψος: 490 x 490 x 480 mm
Βάρος: 60 kg

This equipment is located in US