Suss PM-5 Prober

Descrizione dell'annuncio

Dimensioni wafer/substrato: fino a 6"/150 di diametro

X, Y, stadio Theta
Planarità oltre 6”: <10 µm
Risoluzione: 5 µm
Campo di movimento: 155 x 155 mm
Corsa del carico asse Y: 90 mm
Intervallo di regolazione dell'altezza Z: 10 mm
Corsa contatto/separazione Z: 3 mm
Corsa Theta (standard): 360°
Corsa Theta, fine (opzionale): ±10°

Mandrino
Planarità: 3 µm
Rigidità verticale 6”: <15 µm/10 N

Piastra della testa della sonda
Tipo di fissaggio: vuoto, magnetico, HF
Campo di corsa: 40 mm
Corsa di contatto/separazione: 0,2 mm
Ripetibilità: 1 µm

Utilità
Vuoto: -0,8 bar
Aria compressa: 4 bar

Dimensioni e peso
Larghezza x Profondità x Altezza: 490 x 490 x 480 mm
Peso: 60 chilogrammi

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