Suss PM-5

Description de l'offre

Taille de plaquette/substrat : jusqu'à 6"/150 de diamètre

Stade X, Y, Thêta
Planéité supérieure à 6 » : <10 µm
Résolution : 5 µm
Plage de mouvement : 155 x 155 mm
Course de charge axe Y : 90 mm
Plage de réglage de la hauteur Z : 10 mm
Course de contact/séparation Z : 3 mm
Déplacement thêta (standard) : 360°
Déplacement thêta, fin (facultatif) : ±10°

Mandrin
Planéité : 3 µm
Rigidité verticale 6” : <15 µm/10 N

Plateau de tête de sonde
Type de fixation : Vide, magnétique, HF
Plage de déplacement : 40 mm
Course de contact/séparation : 0,2 mm
Répétabilité : 1 µm

Utilitaires
Vide : -0,8 bar
Air comprimé : 4 bars

Dimensions et poids
Largeur x Profondeur x Hauteur : 490 x 490 x480 mm
Poids : 60 kg

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