Sonda Suss PM-5

Descrição do anúncio

Tamanho do wafer/substrato: até 6”/150 de diâmetro

X, Y, Estágio Teta
Planaridade acima de 6”: <10 µm
Resolução: 5 µm
Amplitude de movimento: 155 x 155 mm
Eixo Y do curso de carga: 90 mm
Faixa de ajuste de altura Z: 10 mm
Curso de contato/separação Z: 3 mm
Curso Theta (padrão): 360°
Curso Theta, fino (opcional): ±10°

Mandril
Planaridade: 3 µm
Rigidez vertical 6”: <15 µm/10 N

Placa da cabeça da sonda
Tipo de fixação: Vácuo, magnético, HF
Faixa de deslocamento: 40 mm
Curso de contato/separação: 0,2 mm
Repetibilidade: 1 µm

Serviços de utilidade pública
Vácuo: -0,8 bar
Ar comprimido: 4bar

Dimensões e peso
Largura x Profundidade x Altura: 490 x 490 x 480 mm
Peso: 60kg

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