INVESTIGACIÓN LAM usada

Descripción del anuncio

LAM 9600 CON DETECCIÓN DE PUNTO FINAL DE LAM
FABRICANTE: LAM INVESTIGACIÓN
Modelo: 9600

Descripción:
El Lam 9600 está diseñado para grabar capas de metal de aluminio y TiW con paredes laterales muy verticales adecuadas para un ancho de línea de 0,35 um. El plasma es un plasma acoplado a un transformador de densidad media-alta, similar a las fuentes ICP, que permite un control separado de la potencia de la bobina (electrodo superior) y de la placa (electrodo inferior). En la cámara, las obleas se sujetan mecánicamente a una placa enfriada por agua y He gas trasero
proporciona acoplamiento. La química C12/BC13 se usa para Al y SF6 para capas de TiW. El paso de grabado con TiW y pasivación con Cl (también con SF6) se puede realizar en la esclusa de salida o en la cámara principal. Se espera que la química con Cl sea eficaz en las capas de AI203, así como en las trincheras de silicio con un socavado mínimo.

Características y accesorios clave:
Gases de proceso: CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, O2, He. Presión de proceso de 0 a 100 mTorr, potencia del electrodo superior de 0 a 125 OW, potencia del electrodo inferior de 0 a 1200 W. Temperatura de proceso 55°C. El monocromador ajustable se utiliza para la detección de puntos finales. Está equipado con un módulo de tira de cuarzo de fuente desacoplada (DSQ) para eliminar (pelar) la fotoprotección de las obleas. El proceso DSQ reduce drásticamente la probabilidad de contaminación por partículas y aumenta la eficiencia del proceso de tira.

Especificaciones clave:

Receta estándar 600/601 para grabado AI:

Tasa de grabado: 800 nm/min,

Tasa de grabado fotorresistente: 400 nm/min,

Receta estándar 640 para grabado AI203:

Tasa de grabado: 100-120nm/min

Tamaño del sustrato:

150 mm de diámetro

Materiales permitidos:

AI, AI203, TiO2, poli Si, Nb y una variedad de nitruros se pueden grabar usando química CI

Materiales Prohibidos:

Materiales no compatibles con IC

Incluye: (1) modelo Lam #9600's 4400

En venta: Lam Model #9600's 4400. Se vende "tal como está, donde está". No tenemos la capacidad de probar todos los equipos. Este sistema se desinstaló en condiciones operativas y de trabajo.

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