Gebruikte LAM RESEARCH

Beschrijving advertentie

LAM 9600 MET EINDPOINTDETECTIE VAN LAM
FABRIKANT: LAM RESEARCH
Model: 9600

Beschrijving:
De Lam 9600 is bedoeld voor het etsen van aluminiummetaal en TiW-lagen met zeer verticale zijwanden die geschikt zijn voor een lijnbreedte van 0,35 um. Het plasma is een aan een transformator gekoppeld plasma met middelhoge dichtheid, vergelijkbaar met ICP-bronnen, waardoor een afzonderlijke regeling van het vermogen van de spoel (bovenste elektrode} en het vermogen van de plaat (onderste elektrode) mogelijk is. In de kamer worden de wafels mechanisch vastgeklemd op een watergekoelde plaat en hij achterkant gas
zorgt voor koppeling. C12/BC13-chemie wordt gebruikt voor Al en SF6 voor TiW-lagen. De TiW-ets- en Cl-passiveringsstap (ook met SF6} kan worden gedaan in de uitgangssluis of in de hoofdkamer. Cl-chemie zal naar verwachting effectief zijn op AI203-lagen en op siliciumgeulen met minimale ondersnijding.

Belangrijkste kenmerken en accessoires:
Procesgassen: CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, 02, He. Procesdruk 0-100 mTorr, vermogen bovenste elektrode 0 - 125OW, vermogen onderste elektrode 0-1200W. Procestemperatuur 55°C. Instelbare monochromator wordt gebruikt voor eindpuntdetectie. Het is uitgerust met een ontkoppelde bronkwarts (DSQ) stripmodule om de fotoresist van de wafels te verwijderen (strippen). Het DSQ-proces vermindert de kans op deeltjesverontreiniging drastisch en verhoogt de efficiëntie van het stripproces.

Belangrijkste specificaties:

Standaardrecept600/601 voor AI-etsen:

Etssnelheid: 800 nm/min,

Fotoresist-etssnelheid: 400nm/min,

Standaardrecept 640 voor AI203 etsen:

Etssnelheid: 100-120nm/min

Ondergrond grootte:

150 mm diameter

Toegestane materialen:

AI, AI203, Ti02, poly Si, Nb en een verscheidenheid aan nitriden kunnen worden geëtst met behulp van CI-chemie

Verboden materialen:

Niet IC-compatibele materialen

Omvat: (1) Lam Model # 9600's 4400

Te koop: Lam Model #9600's 4400. Verkoop "zoals het is, waar is." We hebben niet de mogelijkheid om alle apparatuur te testen. Dit systeem is in werkende, operationele staat gedemonteerd.

This equipment is located in US