APPLIED MICROSTRUCTURES INC MVD 100

Περιγραφή καταχώρησης

APPLIED MICROSTRUCTURES INC MVD 100
Το MVD 100 είναι ένα χρήσιμο εργαλείο για την εναπόθεση μονοστιβάδων οργανοσιλανίων. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη δημιουργία εξαιρετικά υδρόφοβων επιφανειών, αντιρρυπαντικών επιφανειών και βιολειτουργικών επιφανειών. Στην ιστοσελίδα του εργαλείου μπορείτε να βρείτε μια λίστα με τις διαδικασίες εναπόθεσης μονοστρωματικών που χρησιμοποιούνται στο σύστημα.

Η λειτουργία του συστήματος είναι αρκετά απλή. Το εργαλείο διαθέτει θάλαμο αντίδρασης και 3 γραμμές παροχής ατμού. Η γραμμή 1 προορίζεται για υδρατμούς που χρησιμοποιείται σε ορισμένες διεργασίες ως καταλύτης. Η γραμμή 2 είναι αφιερωμένη στο APTMS λόγω ανησυχιών διασταυρούμενης μόλυνσης. Στη συνέχεια, η γραμμή 3 χρησιμοποιείται για όλα τα υπόλοιπα οργανοσιλάνια. Κάθε γραμμή διαθέτει μια πηγή υγρού, έναν όγκο διαστολής συνδεδεμένο με ένα μανόμετρο και ένα σύνολο βαλβίδων ελέγχου. Κατά τη διάρκεια ενός κύκλου πλήρωσης ατμού, η βαλβίδα 1 θα ανοίξει ενώ η βαλβίδα 2 είναι κλειστή επιτρέποντας στον ατμό να ρέει από την πηγή στον όγκο διαστολής. Μόλις επιτευχθεί μια καθορισμένη πίεση, η βαλβίδα 1 κλείνει. Αυτή τη στιγμή η βαλβίδα πεταλούδας κλείνει και η βαλβίδα 2 ανοίγει, επιτρέποντας στον ατμό να ρέει στον θάλαμο αντίδρασης. Ο ατμός παραμένει στο θάλαμο για καθορισμένο χρονικό διάστημα και στη συνέχεια διοχετεύεται. Μια πηγή πλάσματος O2 συνδέεται επίσης με το εργαλείο για σκοπούς προετοιμασίας της επιφάνειας.

This equipment is located in US