MICROESTRUTURAS APLICADAS INC MVD 100

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MICROESTRUTURAS APLICADAS INC MVD 100
O MVD 100 é uma ferramenta útil para depositar monocamadas de organosilanos. Pode ser usado para criar superfícies altamente hidrofóbicas, superfícies anti-incrustantes e superfícies biofuncionalizadas. Uma lista dos processos de deposição de monocamada usados no sistema pode ser encontrada na página web da ferramenta.

O funcionamento do sistema é bastante simples. A ferramenta possui uma câmara de reação e 3 linhas de entrega de vapor. A linha 1 é dedicada ao vapor de água que é usado em alguns processos como catalisador. A linha 2 é dedicada ao APTMS devido a preocupações de contaminação cruzada. A linha 3 é então usada para todos os organossilanos restantes. Cada linha possui uma fonte de líquido, um volume de expansão conectado a um manômetro e um conjunto de válvulas de controle. Durante um ciclo de enchimento de vapor, a Válvula 1 abrirá enquanto a Válvula 2 é fechada, permitindo que o vapor flua da fonte para o volume de expansão. Uma vez que uma pressão especificada é atingida, a Válvula 1 fecha. Neste momento, a válvula reguladora fecha e a válvula 2 abre, permitindo que o vapor flua para a câmara de reação. O vapor permanece na câmara por um determinado período de tempo e depois é bombeado para fora. Uma fonte de plasma de O2 também é conectada à ferramenta para fins de preparação de superfície.

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