DNS Dainippon DNS S

Περιγραφή καταχώρησης

Dainippon Screen DNS SU3000

Vintage: 2005
Κατάσταση: Καθισμένος σε μια βάση σε μια αποθήκη στην Ασία.

Μέγεθος γκοφρέτας 300 mm
Αριθμός Επιμελητηρίων 4
Χειρισμός στο μπροστινό μέρος
Αριθμός θύρας φόρτωσης 3
Αριθμός ντουλαπιού χημικών 3
Σύστημα εναέριων μεταφορών (OHT) Ναι

Θύρα φόρτωσης

Κατασκευάστε TDK
Αριθμός μοντέλου TYPE?E3
IR

Κατασκευή Yasukawa Electric Corp.
Αρ. μοντέλου XU-RC350D (Χειριστής)
XU-ACT153L (άξονας μεταφοράς)
FFU

Αρ. μοντέλου PCF-18SU3EA
Φίλτρο ρητίνης φθορίωσης υλικού
Χωρητικότητα φίλτρου 99,999% ή περισσότερο από σωματίδια 0,1 m
Εύρος ελέγχου αέρα 0~0,4 m/sec
Μονάδα μεταφοράς

CR

Κατασκευή Yasukawa Electric Corp.
Αρ. μοντέλου XU-RC615L
FFU

Αρ. μοντέλου PCF-43SU3EB
Φίλτρο ρητίνης φθορίωσης υλικού
Χωρητικότητα φίλτρου 99,999% ή περισσότερο από σωματίδια 0,1 m
Εύρος ελέγχου αέρα 0~0,6 m/sec
αίθουσα βουλευτών

Ακροφύσιο NozzleBB (πλάκα θωράκισης)

ακροφύσιο-1 DIW
ακροφύσιο-2 N2
Ακροφύσιο σάρωσης-1

ακροφύσιο-1 LAL1400
ακροφύσιο-2 HF
ακροφύσιο-3 DIW
Ακροφύσιο σάρωσης-2

ακροφύσιο-1 (τύπου μαλακού ψεκασμού) SC-1
ακροφύσιο-2 (μαλακό ξέβγαλμα με ψεκασμό) DIW
ακροφύσιο-3 DIW
Πίσω στόμιο

ακροφύσιο-1 HF
ακροφύσιο-2 SC-1
ακροφύσιο-3 DIW
ακροφύσιο-4 N2
Βάση περιστροφής

Υλικό PCTFE;SiC
Στροφοκινητήρα AC σερβοκινητήρα
Περιστροφή Μέγ.3000rpm
Επιτάχυνση Μέγ. 1000 rpm/sec
Ακρίβεια περιστροφής ±3 rpm (στις 3000 rpm)
Χαϊδεύω

Κινητήρας τσοκ Παλμικός κινητήρας
Υλικό PCTFE
Ανίχνευση γκοφρέτας Ανίχνευση με καρφίτσες τσοκ (από αισθητήρα φωτογραφίας)
Πλάκα ασπίδας

Υλικό HT-PVC
Σερβοκινητήρας AC με επαναφορά
Περιστροφή Μέγ.3000rpm
Επιτάχυνση Μέγ. 1000 rpm/sec
Ακρίβεια περιστροφής ±3 rpm (στις 3000 rpm)
Σερβοκινητήρα AC με αλλαγή ταχυτήτων πάνω/κάτω
Απόσταση από την επιφάνεια της γκοφρέτας Ελάχ.0,3mm
Προστατευτικό από πιτσιλίσματα

Συλλογή Χημικών Δομών
Υλικό PTFE
Σερβοκινητήρα AC με αλλαγή ταχυτήτων πάνω/κάτω
Παραθυρόφυλλο

Κύλινδρος αέρα μετάδοσης κίνησης
FFU

Αρ. μοντέλου PCF-3SU3FC
Φίλτρο ρητίνης φθορίωσης υλικού
Χωρητικότητα φίλτρου 99,9999% σωματιδίων 0,1 m
Εύρος ελέγχου αέρα 0~0,3 m/sec
Βοηθητικές μονάδες

Χημικός πίνακας 1
Έλεγχος θερμοκρασίας χαμηλής θερμοκρασίας
Χημική χρήση HF (49%)
Αναλογία χημικής ανάμειξης HF: H2O = 1:2 ή HF
Εύρος ελέγχου θερμοκρασίας RT – 50C
Χημικός πίνακας 2
Έλεγχος θερμοκρασίας χαμηλής θερμοκρασίας
Χημικά μεταχειρισμένα LAL1400
Εύρος ελέγχου θερμοκρασίας RT – 50C
Μόνιτορ συγκέντρωσης HORIBA CM-210
Χημικός πίνακας 3
Έλεγχος θερμοκρασίας χαμηλής θερμοκρασίας
Χρησιμοποιείται χημικό NH4OH, H2O2, H2O
Αναλογία χημικής ανάμειξης NH4OH:H2O2:H2O = 1:4:20 – 1:1:5
Εύρος ελέγχου θερμοκρασίας RT – 50C
Ελεγχος θερμοκρασίας

Εύρος ελέγχου θερμοκρασίας 20~30;
Ακρίβεια ελέγχου Ρύθμιση θερμοκρασίας ±0,5
Φίλτρο

Chemical QCDV ATX TH (Dispo 10 inch: Japan Microlis)
0,1 μ
DIW STRERAPORE MINI*
0,1 μ
N2 WGMXMBSS3 (Ιαπωνία Microlis)
0,01 μ
E-FLOW

Ενότητα SEPAREL PF-001L
Μετρητής αντίστασης OE-960CE
Αισθητήρας αντίστασης ESD-001C-T
Καλώδιο αισθητήρα CK-10M
Στήριγμα αισθητήρα EFA-30
Ρελέ MY2N-CR DC24V

This equipment is located in IE