Μεταχειρισμένο Ebara FREX 300

Περιγραφή καταχώρησης

Το εργαλείο είναι πλήρως λειτουργικό, τρέχοντας Cu και στις δύο πλευρές. Ο βοηθητικός εξοπλισμός είναι ένας πίνακας ισχύος και δύο ψύκτες (ένας για κάθε πλευρά). Τα συστήματα διανομής χημικών υποστηρίζουν ολόκληρο τον στόλο, ώστε να μην περιλαμβάνεται εξοπλισμός διανομής χημικών. Αφαιρούμε βρόχους πολτού κάτω από το δάπεδο καθώς και απευθείας διανομή χημικών από ένα VMB για το καθαρότερο χημικό. Το VMB και το slurry loop υποστηρίζουν πολλά εργαλεία.

Όσον αφορά τις ρυθμίσεις υλικού, υπάρχουν 4 θύρες φόρτωσης, 3 ρομπότ, δύο πλάκες (ένα σε κάθε πλευρά). Το εργαλείο διαθέτει κορυφαίους δακτυλίους MPTI, αλλά μπορούν να αναβαθμιστούν. Το σύστημα τελικού σημείου βασίζεται στη θερμοκρασία.

Μέγεθος γκοφρέτας: 300mm

This equipment is located in TW