Ebara FREX 300 usada

Descrição do anúncio

A ferramenta está totalmente operacional, executando Cu em ambos os lados. O equipamento auxiliar é um gabinete de energia e dois chillers (um para cada lado). Os sistemas de distribuição de produtos químicos suportam toda a frota, portanto, nenhum equipamento de distribuição de produtos químicos seria incluído. Corremos de loops de lama sob o piso, bem como distribuição direta de produtos químicos de um VMB para o produto químico de limpeza. O VMB e o loop de pasta suportam muitas ferramentas.

Quanto à configuração de hardware, existem 4 portas de carga, 3 robôs, duas placas (uma de cada lado). A ferramenta possui anéis superiores MPTI, mas eles podem ser atualizados. O sistema de ponto final é baseado na temperatura.

Tamanho da bolacha: 300mm

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