Usado Ebara FREX 300

Descripción del anuncio

La herramienta está completamente operativa y ejecuta Cu en ambos lados. El equipo auxiliar es un armario de potencia y dos enfriadores (uno para cada lado). Los sistemas de dosificación de productos químicos son compatibles con toda la flota, por lo que no se incluiría ningún equipo de dosificación de productos químicos. Tenemos bucles de lodo debajo del piso, así como distribución química directa desde un VMB para el producto químico más limpio. El VMB y el circuito de lodos son compatibles con muchas herramientas.

En cuanto a la configuración del hardware, hay 4 puertos de carga, 3 robots, dos platos (uno en cada lado). La herramienta tiene anillos superiores MPTI pero se pueden actualizar. El sistema de punto final se basa en la temperatura.

Tamaño de la oblea: 300 mm

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