Ebara FREX 300 d'occasion

Description de l'offre

L'outil est entièrement opérationnel, exécutant Cu des deux côtés. L'équipement auxiliaire est une armoire électrique et deux refroidisseurs (un pour chaque côté). Les systèmes de distribution de produits chimiques prennent en charge l'ensemble de la flotte, de sorte qu'aucun équipement de distribution de produits chimiques ne serait inclus. Nous coulons des boucles de lisier sous le sol ainsi que la distribution directe de produits chimiques à partir d'un VMB pour le produit chimique plus propre. Le VMB et le slurry loop prennent en charge de nombreux outils.

En ce qui concerne la configuration matérielle, il y a 4 ports de chargement, 3 robots, deux plateaux (un de chaque côté). L'outil a des anneaux supérieurs MPTI mais ils peuvent être mis à niveau. Le système de point final est basé sur la température.

Taille de plaquette : 300 mm

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