Usato Ebara FREX 300

Descrizione dell'annuncio

Lo strumento è completamente operativo, eseguendo Cu su entrambi i lati. L'attrezzatura ausiliaria è un armadio elettrico e due refrigeratori (uno per lato). I sistemi di erogazione di prodotti chimici supportano l'intera flotta, quindi non sarebbe inclusa alcuna attrezzatura per l'erogazione di prodotti chimici. Scaviamo da anelli di liquami sotto il pavimento e distribuiamo prodotti chimici diretti da un VMB per il prodotto chimico più pulito. Il VMB e lo slurry loop supportano molti strumenti.

Per quanto riguarda la configurazione hardware, ci sono 4 porte di caricamento, 3 robot, due piani (uno per lato). Lo strumento ha anelli superiori MPTI ma possono essere aggiornati. Il sistema endpoint è basato sulla temperatura.

Dimensioni della cialda: 300 mm

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