Gebruikte Ebara FREX 300

Beschrijving advertentie

Het gereedschap is volledig operationeel, met Cu aan beide zijden. De hulpapparatuur is een stroomkast en twee koelmachines (één voor elke zijde). Chemische doseersystemen ondersteunen het hele wagenpark, dus er zou geen chemische doseerapparatuur worden meegeleverd. We lopen weg van sliblussen onder de vloer en directe chemische distributie van een VMB voor de schonere chemische stof. De VMB en slurrylus ondersteunen veel tools.

Wat de hardwareconfiguratie betreft, zijn er 4 laadpoorten, 3 robots, twee platen (één aan elke kant). De tool heeft MPTI-topringen, maar ze kunnen worden geüpgraded. Het eindpuntsysteem is gebaseerd op temperatuur.

Wafelgrootte: 300 mm

This equipment is located in TW