ΤΗΛ U2e-855II

Περιγραφή καταχώρησης

Πωλείται ένα TEL U2e-655II αναβαθμισμένο σε U2e-855II Oxide Etcher. Βρίσκεται στην Ασία. Ελέγξτε παρακάτω για τη διαμόρφωση.

Διαμόρφωση:

1) MFC (ΕΛΕΓΧΟΣ ΜΑΖΙΚΗΣ ΡΟΗΣ)

ΑΕΡΙΟ ΑΡΙΘΜ. GAS MAME MFC MFC SIZE(SCCM) MAKER MODEL

GAS #1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GAS #2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GAS #3 O2 20 SAM SFC-1480F

GAS #4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GAS #5 O2 100 SAM SFC-1480F

GAS #6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GAS #7 N2 100 AERA FC-780XC

GAS #8 CF4 ( 0,419 ) 5 AERA FC-780XC

2) Ελεγκτής AC-2 (ΚΥΡΙΟΣ ΕΛΕΓΚΤΗΣ ΠΙΕΣΗΣ) APC (Auto Pressure Controller)

ΕΙΔΗ Κατασκευαστής ΜΟΝΤΕΛΟ Συνημμένο ΠΑΡΑΤΗΡΗΣΗ

APC VAT 61146-PH52-ABM1 ΟΚ

ΦΠΑ 61146-PH52-ABM1 ΟΚ

3) ΜΕΤΡΟΜΕΤΡΟ

Unit Maker Model Range ΠΑΡΑΤΗΡΗΣΗ

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA/133,32 TC

4) Φορτώστε το ΣΥΣΤΗΜΑ διαμόρφωσης υλικού σταθμού

Περιγραφή Κατασκευαστής Μοντέλο ΠΑΡΑΤΗΡΗΣΗ

1.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

2.TMP Controller MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ΡΟΜΠΟΤ YASKAWA VS2C

4.Ρομπότ Ελεγκτής YASKAWA SRC-?017

5. EPD TEL SE-2000

6. UPS

7.Γεννήτρια PEAL RP-3000-27M PC1 TOP

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 TOP

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8.Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Έλεγχος λειτουργίας SUB MODULE

ΠΑΡΑΤΗΡΗΣΗ ΚΡΙΤΗ ΜΟΝΤΕΛΟ ΠΑΡΑΣΚΕΥΗΣ ΜΟΝΑΔΩΝ

1.Στεγνή Αντλία EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2.Chiller SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

This equipment is located in IE

Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή ενδέχεται να έχει μεταφραστεί αυτόματα.