TEL U2e-855II

Descrizione dell'annuncio

Vendo TEL U2e-655II aggiornato a U2e-855II Oxide Etcher. Si trova in Asia. Si prega di controllare di seguito per la configurazione.

Configurazione:

1) MFC (REGOLATORE DI FLUSSO MASSA)

GAS N. MODELLO DI GAS MAME MFC DIMENSIONE (SCCM).

GAS n. 1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GAS n. 2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GAS n. 3 O2 20 SAM SFC-1480F

GAS #4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GAS n. 5 O2 100 SAM SFC-1480F

GAS #6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GAS #7 N2 100 AERA FC-780XC

GAS #8 CF4 ( 0,419 ) 5 AERA FC-780XC

2) Regolatore AC-2 (REGOLATORE DELLA PRESSIONE PRINCIPALE) APC (regolatore automatico della pressione)

ARTICOLI Maker MODEL Allegato OSSERVAZIONE

APC IVA 61146-PH52-ABM1 OK

IVA 61146-PH52-ABM1 OK

3) Manometro GAUGE

Unit Maker Modello Gamma OSSERVAZIONE

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA/133.32 TC

4) SISTEMA di configurazione hardware della stazione di carico

Descrizione Modello Maker REMARK

1.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

2. Controller TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ROBOT YASKAWA VS2C

4. Controller robot YASKAWA SRC-?017

5. EPD TEL SE-2000

6. UPS

7.Generatore PEAL RP-3000-27M PC1 TOP

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 SUPERIORE

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8.Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 SUPERIORE

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Verifica funzione SUB MODULO

UNITÀ COSTRUTTORE MODELLO GIUDICE OSSERVAZIONE

1. Pompa a secco EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2.Chiller SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

This equipment is located in IE

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