TEL U2e-855II

Beschrijving advertentie

Te koop is een TEL U2e-655II opgewaardeerd naar U2e-855II Oxide Etcher. Het is gelegen in Azië. Kijk hieronder voor de configuratie.

Configuratie:

1) MFC (MASSA FLOW CONTROLLER)

GAS NR. GAS MAME MFC SIZE (SCCM) MAKER MODEL:

GAS #1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GAS #2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GAS #3 O2 20 SAM SFC-1480F

GAS #4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GAS #5 O2 100 SAM SFC-1480F

GAS #6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GAS #7 N2 100 AERA FC-780XC

GAS #8 CF4 ( 0.419 ) 5 AERA FC-780XC

2) AC-2 Regelaar (HOOFDDRUKCONTROLLER) APC (Automatische drukregelaar)

ITEMS Maker MODEL Bijlage OPMERKING:

APC BTW 61146-PH52-ABM1 OK

BTW 61146-PH52-ABM1 OK

3) Meter GAUGE:

Unit Maker Modelreeks OPMERKING:

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA/133.32 TC

4) Hardwareconfiguratie van het laadstation SYSTEEM

Beschrijving Maker Model OPMERKING:

1.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

2.TMP-controller MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ROBOT YASKAWA VS2C

4. Robotcontroller YASKAWA SRC-?017

5. EPD TEL SE-2000

6. UPS

7.Generator PEAL RP-3000-27M PC1 TOP

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 TOP

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8. Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Functiecontrole SUB-MODULE

EENHEID MAKER MODEL RECHTER OPMERKING:

1.Droge pomp EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2. Koelmachine SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

This equipment is located in IE

Deze beschrijving kan automatisch zijn vertaald.