TEL U2e-855II

Descrição do anúncio

À venda está um TEL U2e-655II atualizado para U2e-855II Oxide Etcher. Está localizado na Ásia. Verifique abaixo a configuração.

Configuração:

1) MFC (CONTROLADOR DE FLUXO DE MASSA)

GÁS NO. GÁS MAME MFC MODELO DE FABRICANTE TAMANHO (SCCM)

GÁS #1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GÁS #2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GÁS #3 O2 20 SAM SFC-1480F

GÁS #4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GÁS #5 O2 100 SAM SFC-1480F

GÁS #6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GÁS #7 N2 100 AERA FC-780XC

GÁS #8 CF4 (0,419) 5 AERA FC-780XC

2) Controlador AC-2 (CONTROLADOR PRINCIPAL DE PRESSÃO) APC (Controlador Automático de Pressão)

ITEMS Maker MODELO Anexo OBSERVAÇÃO

APC VAT 61146-PH52-ABM1 OK

VAT 61146-PH52-ABM1 OK

3) Medidor MEDIDOR

Gama de modelos do fabricante da unidade OBSERVAÇÃO

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA/133.32 TC

4) SISTEMA de configuração de hardware da estação de carga

Descrição Maker Modelo OBSERVAÇÃO

1.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

2.Controlador TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ROBÔ YASKAWA VS2C

4.Controlador de Robô YASKAWA SRC-?017

5. EPD TEL SE-2000

6. UPS

7. Gerador PEAL RP-3000-27M PC1 TOP

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 TOP

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8. Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 TOPO

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Sub-Módulo de Verificação de Função

OBSERVAÇÃO DO JUIZ DO MODELO DO FABRICANTE DA UNIDADE

1.Bomba Seca EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2. Resfriador SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

This equipment is located in IE

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