TEL U2e-855II

Description de l'offre

À vendre est un TEL U2e-655II mis à niveau vers U2e-855II Oxide Etcher. Il est situé en Asie. Veuillez vérifier ci-dessous la configuration.

Configuration:

 1) MFC (CONTRÔLEUR DE DÉBIT MASSIQUE)

GAZ NO. GAS MAME SIZE MFC SIZE (SCCM) MAKER MODEL

GAZ # 1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GAZ # 2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GAZ # 3 O2 20 SAM SFC-1480F

GAZ # 4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GAZ # 5 O2 100 SAM SFC-1480F

GAZ # 6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GAZ # 7 N2 100 AERA FC-780XC

GAZ # 8 CF4 (0.419) 5 AERA FC-780XC

2) Contrôleur AC-2 (CONTRÔLEUR DE PRESSION PRINCIPALE) APC (Contrôleur de pression automatique)

ITEMS Maker MODEL Attachment REMARQUE

TVA APC 61146-PH52-ABM1 OK

TVA 61146-PH52-ABM1 OK

3) JAUGE DE JAUGE

Gamme de modèles de fabricant d'unités REMARQUE

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA / 133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA / 133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA / 133.32 TC

4) SYSTÈME DE CONFIGURATION MATÉRIELLE DE LA STATION DE CHARGEMENT

Description Modèle de fabricant REMARQUE

1.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

Contrôleur 2.TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ROBOT YASKAWA VS2C

4.Robot Controller YASKAWA SRC-? 017

5. EPD TEL SE-2000

6. UPS

7.Générateur PEAL RP-3000-27M PC1 TOP

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 TOP

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8.Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 TOP

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Contrôle de fonction SUB MODULE

 UNITE MAKER MODEL JUGE REMARK

1.Pompe sèche EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2.Chiller SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

This equipment is located in IE

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