TELÉFONO U2e-855II

Descripción del anuncio

Se vende un TEL U2e-655II actualizado a U2e-855II Oxide Etcher. Se encuentra en Asia. Consulte a continuación la configuración.

Configuración:

1) MFC (CONTROLADOR DE FLUJO MÁSICO)

NÚMERO DE GAS GAS MAME MFC TAMAÑO (SCCM) FABRICANTE MODELO

GAS #1 C4F8 50 SAM SFC-1480F

GAS #2 Ar 1000 SAM SFC-1480F

GAS #3 O2 20 SAM SFC-1480F

GASOLINA #4 CHF3 100 SAM SFC-1480F

GAS #5 O2 100 SAM SFC-1480F

GAS #6 CF4 100 SAM SFC-1480F

GAS #7 N2 100 AERA FC-780XC

GAS #8 CF4 ( 0.419 ) 5 AERA FC-780XC

2) Controlador AC-2 (CONTROLADOR DE PRESIÓN PRINCIPAL) APC (Controlador de presión automático)

ARTÍCULOS Fabricante MODELO Adjunto OBSERVACIÓN

APC IVA 61146-PH52-ABM1 OK

IVA 61146-PH52-ABM1 OK

3) calibre calibre

Unidad Fabricante Modelo Rango OBSERVACIÓN

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC1

Baratron MILLIPORE CDLD-01S12E 1 PA/133.32 PC2

Baratron MKS 622A01 TDE 1 PA/133.32 TC

4) SISTEMA de configuración de hardware de la estación de carga

Descripción Fabricante Modelo OBSERVACIÓN

1 TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

2. Controlador TMP MITSBISHI FT-1200W

MITSBISHI FT-1200W

3. ROBOT YASKAWA VS2C

4.Controlador de robot YASKAWA SRC-?017

5. EPD TEL SE-2000

6. SAI

7. Generador PEAL RP-3000-27M PC1 ARRIBA

PEAL LP-2000-800K PC1 BOT

PEAL RP-3000-27M PC2 SUPERIOR

PEAL LP-2000-800K PC2 BOT

8. Matcher PEAL M-30AW2VD-27M PC1 SUPERIOR

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC1 BOT

PEAL M-30AW2VD-27M PC2 SUPERIOR

PEAL M-20A2LS-U2-4 PC2 BOT

6)
Comprobación de funciones SUBMÓDULO

UNIDAD FABRICANTE MODELO JUEZ OBSERVACIÓN

1. Bomba seca EDWARD IGX-100L OK CC

EDWARD IL-600 OK TC

EDWARD IH-80 OK PC1

EDWARD IH-80 OK PC2

2. Enfriador SMC INR-341-42B1-X134 OK PC1

SMC INR-341-42B-X1134 OK PC2

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