ULTRATECH SAVANNAH G2 ALD

Περιγραφή καταχώρησης

ULTRATECH SAVANNAH G2
Σύστημα εναπόθεσης ατομικού λέιζερ
Volt: 100-120 VAC
KVA: 1,5KVA-2KVA
HERTZ: 50-60 Hz
Η πλατφόρμα Savannah G2 ενσωματώνει ένα ευρύ φάσμα προηγμένων επιλογών με δυνατότητα αναβάθμισης πεδίου που προορίζονται να βοηθήσουν σοβαρούς ερευνητές να επεκτείνουν το χαρτοφυλάκιό τους με τις διαθέσιμες ταινίες ALD, καθώς και να τους επιτρέψουν να χαρακτηρίσουν τις ταινίες σε πραγματικό χρόνο. Μεταξύ της σειράς επιλογών του Savannah G2, έχει αναπτυχθεί ένα μοναδικό σύστημα παροχής πρόδρομων ουσιών χαμηλών ατμών που επιτρέπει την ανάπτυξη νέων υλικών, συμπεριλαμβανομένων μεμβρανών ενός και πολλαπλών συστατικών από Perovskite, ύττριο, λίθιο και τις οικογένειες σπάνιων γαιών. Πρόσθετες επιλογές όπως η ελλειψομετρία, η μικροζυγία κρυστάλλου χαλαζία (QCM) και η φασματομετρία μάζας επιτρέπουν την ταυτόχρονη ανάπτυξη φιλμ ALD και τον χαρακτηρισμό σε πραγματικό χρόνο της διαδικασίας εναπόθεσης, τα οποία είναι απαραίτητες δυνατότητες για δραστηριότητες ανάπτυξης και βελτιστοποίησης διεργασιών.

This equipment is located in US