ULTRATECH SAVANNAH G2 ALD

Descrição do anúncio

ULTRATECH SAVANA G2
Sistema de Deposição de Laser Atômico
Volts: 100-120 VCA
KVA: 1,5 KVA-2 KVA
HERTZ: 50-60 Hz
A plataforma Savannah G2 incorpora uma ampla gama de opções avançadas atualizáveis em campo destinadas a ajudar pesquisadores sérios a expandir seu portfólio de filmes ALD disponíveis, bem como permitir que eles caracterizem os filmes em tempo real. Entre a variedade de opções do Savannah G2, um sistema exclusivo de entrega de precursor de baixo vapor foi desenvolvido para permitir o crescimento de novos materiais, incluindo filmes de um e vários componentes de perovskita, ítrio, lítio e as famílias de terras raras. Opções adicionais, como elipsometria, microbalança de cristal de quartzo (QCM) e espectrometria de massa, permitem o crescimento simultâneo de filmes ALD e a caracterização em tempo real do processo de deposição, todos recursos indispensáveis para atividades de desenvolvimento e otimização do processo.

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