ULTRATECH SAVANNAH G2 ALD

Beschrijving advertentie

ULTRATECH SAVANNAH G2
Atoom laserdepositiesysteem
Volt: 100-120 VAC
KVA: 1.5KVA-2KVA
HERTZ: 50-60 Hz
Het Savannah G2-platform bevat een breed scala aan geavanceerde opties die in het veld kunnen worden geüpgraded, bedoeld om serieuze onderzoekers te helpen bij het uitbreiden van hun portfolio van beschikbare ALD-films, en om hen in staat te stellen de films in realtime te karakteriseren. Onder het scala aan opties van de Savannah G2 is een uniek afgiftesysteem voor precursoren met een laag dampgehalte ontwikkeld om de groei van nieuwe materialen mogelijk te maken, waaronder films met één en meerdere componenten van Perovskite, Yttrium, Lithium en de zeldzame aarde-families. Aanvullende opties zoals ellipsometrie, kwartskristalmicrobalans (QCM) en massaspectrometrie zorgen voor de gelijktijdige groei van ALD-films en de realtime karakterisering van het depositieproces, allemaal onmisbare mogelijkheden voor procesontwikkeling en optimalisatieactiviteiten.

This equipment is located in US