ULTRATECH SAVANNAH G2 ALD

Descripción del anuncio

ULTRATECNOLOGÍA SAVANNAH G2
Sistema de deposición láser atómica
Voltios: 100-120 VCA
KVA: 1.5KVA-2KVA
HERZIOS: 50-60 Hz
La plataforma Savannah G2 incorpora una amplia gama de opciones avanzadas actualizables en el campo destinadas a ayudar a los investigadores serios a expandir su cartera de películas ALD disponibles, así como permitirles caracterizar las películas en tiempo real. Entre la gama de opciones de Savannah G2, se ha desarrollado un exclusivo sistema de suministro de precursores de bajo contenido de vapor para permitir el crecimiento de materiales novedosos, incluidas películas de uno o varios componentes de perovskita, itrio, litio y las familias de tierras raras. Las opciones adicionales, como la elipsometría, la microbalanza de cristal de cuarzo (QCM) y la espectrometría de masas, permiten el crecimiento simultáneo de películas ALD y la caracterización en tiempo real del proceso de deposición, todas las cuales son capacidades indispensables para el desarrollo de procesos y actividades de optimización.

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