Instrumentos de investigación EUV MBR- METROLOGÍA DE MÁSCARA

Descripción del anuncio

Rango espectral medido < 12,5 a > 14,5 nm
Resolución espectral ≈ 1.7 pm
Tamaño de punto medido típ. 250x100 μm2 --
Dinámica de la señal medida > 12 bits ➔ De < 0,01 % a > 60
%
cwl_50 av. Precisión: ≤ 3 pm
CWL_50 Precisión, 3σ ≤ 1 pm
Pico Reflectividad Av. Precisión Rpico ~ 65 % ≤ 0,5 % absoluto
Precisión de reflectividad máxima Rpeak ~ 65 %, 3σ ≤ 0,5 % absoluto
Pico Reflectividad Av. Precisión Rpico ~ 1% ≤ 0,05 % absoluto
Reflectividad máxima: Precisión Rpeak ~ 1 %: ≤ 0,05 %: , 3σ ≤ 0,02 % absoluto

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