Instruments de recherche EUV MBR- MÉTROLOGIE DES MASQUES

Description de l'offre

Gamme spectrale mesurée < 12,5 à > 14,5 nm
Résolution spectrale ≈ 1,7 pm
Taille du spot mesuré Typ. 250x100 μm2 --
Dynamique du signal mesuré > 12 bits ➔ De < 0,01 % à > 60
%
CWL_50 Av. Précision : ≤ 15 h
CWL_50 Précision, 3σ ≤ 1 h
Moy. de réflectivité maximale Précision Rpeak ~ 65 % ≤ 0,5 % absolu
Précision de réflectivité maximale Rpeak ~ 65 %, 3σ ≤ 0,5 %absolu
Moy. de réflectivité maximale Précision Rpeak ~ 1% ≤ 0,05 % absolu
Réflectivité maximale : Précision Rpeak ~ 1 % : ≤ 0,05 % : , 3σ ≤ 0,02 % absolu

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