Strumenti di ricerca EUV MBR- MASK METROLOGIA

Descrizione dell'annuncio

Intervallo spettrale misurato da < 12,5 a > 14,5 nm
Risoluzione spettrale ≈ 1:7 pm
Dimensione del punto misurato tip. 250x100μm2 --
Dinamica del segnale misurato > 12 bit ➔ Da < 0,01 % a > 60
%
CWL_50 Av. Precisione: ≤ 15:00
CWL_50 Precisione, 3σ ≤ 1 pm
Riflettività di picco Av. Precisione Rpeak ~ 65% ≤ 0,5 % assoluto
Precisione della riflettività di picco Rpeak ~ 65%, 3σ ≤ 0,5% assoluto
Riflettività di picco Av. Precisione Rpeak ~ 1% ≤ 0,05 % assoluto
Riflettività di picco: Precisione Rpeak ~ 1%: ≤ 0,05%: , 3σ ≤ 0,02% assoluto

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