Surface Technology Systems (Sts) Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process

Description de l'offre

• FEO = Surface Technology Systems Limited (AKA : STS)
• Modèle = MESC Multiplex ICP ASE
• Type = ICP RIE (plasma à couplage inductif, gravure ionique réactive)
• Description du processus = ASE (Advanced Silicon Etch, Bosch Process)
• Numéro de série = 31143
• Taille de plaquette = 150 mm
o Capacité du chargeur = 2 wafers Carrousel
• Type de mandrin = pince lestée mécanique
• Gaz de procédé :
o C4F8 = 300 SCCMS
o SF6 = 600 SCCMS
o O2 = 100 SCCMS
o AR = 100 SCCMS
o Les MFC sont de la série Millipore FC2901
• Turbopompe = Leybold Mag 2000 CT
• Générateur RF 1 = ENI ACG-3
• Générateur RF 2 = AE RFG 3001 (Énergie avancée)
• Mesure du vide = MKS Instruments
• Vanne vanne = Vanne vanne de type étranglement TVA
• Vanne à fente = TVA Vanne à fente
• Manuels = catalogue de pièces modulaires et de l'opérateur STS MESC Multiplex ICP
• Verrouillage de la pompe à vide = Pompe Edwards E2M40
• Module de processus de pompe à vide = pompe Edwards IQDP80 avec ventilateur IQMB250 (interface silencieuse intelligente)
• Refroidisseur = Affinité, PWG-060K-BE33CBC2
• Module de support = armoire de contrôleur STS/panneau de disjoncteur CA

This equipment is located in US


Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement.

Informations de l'offre

Fabricant Surface Technology Systems (Sts)
Modèle Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process
Année 2001
Pays USA USA
Condition Excellente
Catégorie PCB et semi-conducteur
Sous-catégorie Équipement semi-conducteur
ID P20708003

A propos du vendeur

Type de client Marchand
Sur Kitmondo depuis 2009
Nombre d'offres 3
Pays USA USA
Employés 1 - 10
Fondée en 2007
Description de l'entreprise

​​Since 2007 our company has been a recognized leader in providing world-wide sales, service and advanced technical assistance in support of automated systems utilized in the fabrication and produ… voir plus

​​Since 2007 our company has been a recognized leader in providing world-wide sales, service and advanced technical assistance in support of automated systems utilized in the fabrication and production of multiple manufacturing processes.
Our primary area of expertise is providing complete, comprehensive support for the semiconductor manufacturing industry; as well as the numerous sub-industries that are interdependent on the base process of wafer manufacturing. This includes the production processes related to Hard Disk Drive and Memory Storage Devices, Optics and Laser applications, as well as Solar and other Alternative Energy Technologies...

Dernière acitivité sep. 13, 2022
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